2018年10月，Swisslitho 3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機NanoFrazor Scholar在復(fù)旦大學(xué)張遠波教授課題組成功安裝。張遠波教授是二維材料研究域的學(xué)者，由于很多二維材料都對空氣中的氧氣和水蒸氣很敏感，所以整個制備過程需要在手套箱惰性氣氛保護下完成制備，這樣做既可以保護樣品，又可以減少不必要的轉(zhuǎn)移工序。有鑒于此，Swisslitho公司提供了整套的手套箱集成方案，實現(xiàn)原位表面結(jié)構(gòu)刻蝕和實時形貌表征，的契合了張遠波教授的要求。
 

圖1：完成安裝及調(diào)試后手套箱中的3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機NanoFrazor Scholar設(shè)備

整個安裝過程非常順，在3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機NanoFrazor Scholar完成安裝的當周內(nèi)，YU Yijun博士用該設(shè)備探測表面覆蓋超過300nm光刻膠的三層堆疊石墨烯，并在其上完成電圖形的書寫。去膠之后的電學(xué)測量結(jié)果顯示其已經(jīng)表現(xiàn)為個功能性器件。
NanoFrazor3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機的加工過程具有直接性、低損傷和高速等點，這些都對張教授的研究具有大的幫助。我們期待未來能夠與課題組進步緊密溝通合作，共同完成高速直寫實驗，不斷增強微納制備流程的性。

圖2： (a) 手套箱中完成安裝的NanoFrazor Scholar設(shè)備。
人員介紹（從左到右）：Simon Bonanni博士，DENG Yujun，YU Yijun博士。
(b) 由NanoFrazor Scholar探測獲得的光刻膠層下的石墨烯片層形貌。
(c) 由NanoFrazor Scholar直接書寫并去膠剝離后的石墨烯片層上電結(jié)構(gòu)形貌。
(d) 石墨烯電結(jié)構(gòu)的電學(xué)測量結(jié)果。

客戶反饋：

“我們用NanoFrazor Scholar來實現(xiàn)在手套箱內(nèi)對精巧的二維材料表面制備電。NanoFrazor可以定位二維材料，并且可以實時快速反饋整個刻蝕過程，這些功能對我們來說是非常重要的，我們可以用NanoFrazor快捷地完成高質(zhì)量實驗器件的制備。”

復(fù)旦大學(xué)張遠波教授