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應用領域	環(huán)保,化工,制藥/生物制藥,綜合

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分辨率提高

與我們現(xiàn)有的模型相比，CFD-1T-B的分辨率有了很大的提高。1毫升/次的最小流量為晶圓清洗過程所需的化學冷凝控制提供了更高的精確度。CFD-1T-B總是注入正確數(shù)量的化學藥品而不會過量，避免了過多的液體浪費。此外，防虹吸機制可防止意外虹吸。

耐腐蝕濕部

氟塑料濕部(PTFE、PFA、PCTFE)能夠處理半導體加工所需的強酸、強堿和過氧化氫。

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