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微米尺度空間分辨率LIBS測試系統—MEEPLIBS
MEEPLIBS可以在微米尺度上做空間分辨的元素分析，實現了與傳統的顯微鏡實現*結合，標準分析口徑大小為15微米和18微米（zui小可做到4微米），可在室溫大氣環境中測試，也可在特定的環境中測試。
廣泛應用于半導體材料、面板材料的微米尺度空間分辨率的實時元素分析。
系統特點：
光源：266nm紫外激光光源
具有配衰減器的激光光束整形功能，激光功率軟件可調
可實現探測系統的自動溫控
系統中配置攝像機，用戶可實時觀測測試的樣品區域
配置電動三維調節臺用來校準激光聚焦位置、提高實驗可重復性精度，可對樣品進行序列測量
能分析測量包括質量zui輕的所有元素
無須樣品預處理，快速檢測
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