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手動探針臺：手動探針臺是手動控制的，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優點之一是只需要最少的培訓，易于配置環境和轉換測試環境，并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點，非常適合研發人員使用。
 
半自動探針臺：半自動探針臺是一種用于信息科學與系統科學領域的分析儀器，于2004年3月17日啟用。支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4個SMU接口，可同時輸出(測量)四路直流信號。 每個SMU最大輸出電壓100V(-100V),最大輸出電流1A 測量功率100V*10mA。 開路漏電流20fA。通過和外接的測試儀器4156C以及溫度控制設備TP03000A的連接，組成一個測試平臺，完成對器件封裝前的電性能測試(電阻，C/V,擊穿特性等)。