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chroma 7935 晶圓檢測系統

主要特色：大可檢測8" 晶圓 (檢測區域達10" 范圍 )可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目上片后晶圓對位機制自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格影像辨識成功率高達 98%可結合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設備提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進行分析適合LED、雷射二極體及影像感測器等產業 ?

Chroma 7935晶圓檢測機為切割后自動化晶粒檢測機，使用良好的打光技術，可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結合不同的光源角度、亮度及取像模式，使得 7935可以適用于LED、雷射二極體及影像感測器等產業。由于使用高速相機以及自行開發之檢測演算法，7935可以針對特定瑕疵項目在2 分鐘內檢測完2"晶圓，換算為單顆處理時間為15 msec。7935同時也提供了自動 對焦與翹曲補償功能，以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7935可配置不 同倍率之物鏡，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇適當的檢測倍率。系統搭配的 小解析度為0.35um，一般來說，可以檢測1um左右的瑕疵尺寸。系統功能 在擴膜之后，晶粒或晶圓可能會產生不規則的排列，7935也提供了搜尋及排列功 能以轉正晶圓。此外，7935擁有人性化的使用介面可降低學習曲線，所有的必要 資訊，如晶圓分布，瑕疵區域，檢測參數及結果，均可清楚地透過UI呈現。瑕疵資料分析 所有的檢測結果均會被記錄下來，而不僅只是良品/不良品的結果。這有助于找 出一組佳參數，達到漏判與誤判的平衡點，瑕疵原始資料亦有幫助于分析瑕疵 產生之趨勢，并回饋給制程人員進行改善。綜合上述說明，Chroma 7935是晶圓檢測制程考量成本與效能的佳選擇。應用范圍應用范圍7935 晶圓檢測系統

chroma 7935 晶圓檢測系統

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Agilent 81533A 接口模塊

Agilent 81533B 接口模塊

Agilent 81536A 光功率計傳感插件

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Agilent 81567A 可變光衰減器模塊

Agilent 8156A 光衰減器

Agilent 81578A可變光衰減器模塊

Agilent 81610A回損測試模塊

Agilent 81619A 光功率模塊

Agilent 81624A 光學探頭

Agilent 81625A 光功率探頭

Agilent 81633A 分布式反饋(DFB)激光器

Agilent 81635A 雙光功率傳感器

Agilent 8163A光功率計主機

Agilent 8163B 光功率計

Agilent 8164A 光波測量系統主機

Agilent 81650A 單法布里-珀羅激光源

Agilent 81651A 光源模塊

Agilent 81654A 法布里-珀羅激光源

Agilent 81662A 分布式反饋(DFB)激光器

Agilent 8168E 可調諧激光源

Agilent 83440D光波轉換器

Agilent 83480A 數字通信分析儀

Agilent 83483A 雙通道電模塊

Agilent 83486A 光電模塊

Agilent 83487A 光電模塊

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Agilent 83494A 單模時鐘恢復模塊

Agilent 83495A 時鐘恢復模塊

Agilent 83496A 光電時鐘恢復模塊

Agilent 86100A 光示波器

Agilent 86100C 寬帶示波器主機

Agilent 86103A 光電模塊

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Agilent 86106B 光電模塊

Agilent 86107A 精密時基參考模塊

Agilent 86120B 多波長計

Agilent 86120C 多波長計

Agilent 86142B 高性能光譜分析儀

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Ando AQ2742 光功率傳感器

Ando AQ2743 光功率傳感器

Ando AQ4211LD組件

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Andu AQ-4137 光源

Andu AQ-4142 光源

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CVI Melles Griot 05-LHP-211-1 激光器

Ericsson FSU-975 光纖熔接機

Exfo IQS-3150 可變衰減器

EXFO WA-1650 光波長計

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HP 83540A 插件信號源

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IFR GPS-101定位系統模擬器

Jdsu HA9 光衰減器

JDSU OLP-55 光功率計

Keithley 7001半導體開關系統

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KEITHLEY 6221 電流源表

Keysight 11708A 衰減器墊

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Keysight 81634B 低偏振相關光功率傳感器

Keysight 81636B 光功率傳感器

Keysight 8164B 光波測量系統主機

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Keysight 86100D 寬帶寬示波器主機

Keysight 86105C 光電采樣模塊

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Keysight E3631A 三路輸出電源

Keysight J7231B 抖動通信性能分析儀

Keysight N5181A 射頻模擬信號發生器

Keysight N5980A 比特誤碼率測試儀

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Newport 818-IG高性能光電二極管傳感器

Newport 918-IG 高性能光電二極管傳感器

Newport 918-ir 高性能光電二極管傳感器

NI PCI GPIB小卡

NI PXI-1031 板卡

Photom EP-712 光功率計

Picometrix PT-12B 光電轉換芯片

R&S FSP3 頻譜分析儀

R&S NRPZ51 射頻功率計

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R&S NRP-Z55 射頻功率計

Tektronix DPP125B 誤碼儀

Tektronix 80C02 光采樣模塊

Tektronix 80E04 雙通道時域反射計

Tektronix DSA8200 采樣示波器

Tektronix DSA8300 數字采樣示波器

USHIO UXM-Q256BY點光源

YOKOGAWA AQ2200-421 單槽型光開關

YOKOGAWA AQ2201 幀控制器主機

光示波器/眼圖儀—Agilent 86100A, Agilent 86100B, Agilent 86100C, Agilent 86100D,Agilent 86105A, Agilent 86105B, Agilent 86116C, Agilent 86105D, Agilent 86103A, Agilent 86106B, Agilent 86103B, Agilent 83493A, Agilent 83496A, Agilent 86118A, Agilent 54754A，Tektronix DSA 8300，Tektronix DSA 8200，Tektronix 80C08，Tektronix 80C15，Tektronix 80C07, Tektronix 82A04，Tektronix 80E04,Anritsu MP2100B光譜分析：Agilent 86142B, Agilent 86146B,Agilent 86140B,Anritsu MS9740A,Anritsu MS 9710C,Anritsu MS9710B,Yokogawa 6317B,Yokogawa:6370D波長計：Agilent 86122A,Agilent 86120B,Agilent 86120C,EXFO WA1600,EXFO WA1650,EXFO WA1100光衰減器：Agilent 8156A,Agilent 8157A，Agilent 81570A,Agilent 81571A,Agilent 81576A,Agilent 81577A，Agilent 81567A,JDSU HA-9光萬用表:Agilent 8164A,Agilent 8164B,Agilent 8163A,Agilent 8163B,Agilent 8153A,Agilent 8166B,Agilent N7744A,Agilent N7745A,Agilent N7748A,Agilent 81632B,Agilent 81633A,Agilent 81634A,Agilent 81634B,Agilent 81635A,Agilent 81636B,Agilent 86137B,Agilent 81623A,Agilent 81623B,Agilent 81624A,Agilent 81624B,Agilent 81625A,Agilent 81625B,Agilent 81626B,Agilent 81628B,Agilent N7752A誤碼儀：Agilent N5980A,Agilent N4901A,Agilent N4903A,Agilent N4906A光開關：Agilent 81595B,Agilent 86062C,JDSU SB optical switch可調光源：Agilent 81640A,Agilent 81642A,Agilent 81680A，Agilent 81682A，Agilent 81600B網絡分析儀：Agilent E5071C，Agilent 8722ES,Agilent 8720ES,Agilent E5061B,Agilent E5062A，R&S ZNB射頻信號源：Agilent E4438C,Agilent 8257D，Agilent N5181A,Agilent N5182A,Aglent N5182B,Agient N5183A,Agilent 8257D，Agilent 8267D頻譜分析儀：Agilent E4440A,Agilent N9010A，Agilent N9020A，Agilent N9030AWifi/藍牙測試儀：Anritsu 8852B,LitePoint IQxel 80，,LitePoint IQXEL 160，,LitePoint 2011，,LitePoint IQ flex，Agilent N4010A