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集成電路封裝與測試流程詳解
點擊次數：120 發布時間：2025-4-27
集成電路封裝測試是確保芯片性能與可靠性的核心環節，主要包括?晶圓級測試（CP測試）?和?封裝后測試（FT測試）?兩大階段，流程如下：
一、晶圓級測試（CP測試）
1.?測試目的?：在晶圓切割前篩選出功能缺陷或性能不達標的晶粒（Die），避免后續封裝環節的資源浪費，顯著降低制造成本。
2.?核心設備與操作?
l ?探針臺（Prober）?：通過高精度移動平臺將探針與晶粒的Pad jing準接觸，實現電氣連接。
l ?ATE測試機?：提供測試電源、信號輸入及功能向量，接收晶粒反饋信號以判定其良率（例如檢測漏電流、閾值電壓等參數）。
l ?探針卡（Probe Card）?：根據芯片Pad布局定制，確保ATE信號與晶粒引腳導通。
3.?輸出結果?
生成晶圓缺陷圖（Wafer Map），標記**晶粒（如打墨點），供后續封裝環節剔除。
二、封裝流程關鍵步驟
1.?前段處理?
l ?晶圓減薄?：通過背面研磨將晶圓厚度調整至封裝要求（如100μm以下），并粘貼保護膠帶防止電路損傷。
l ?晶圓切割?：用金剛石刀片或激光切割將晶圓分割為獨立晶粒，清洗后去除殘留碎屑。
2.?核心封裝工藝?
l ?芯片貼裝（Die Attach）?：將晶粒固定在基板或框架上，通過銀漿或焊料實現機械固定與導熱。
l ?引線鍵合（Wire Bonding）?：用金線/銅線連接晶粒Pad與封裝基板引腳，確保信號導通。
l ?塑封成型（Molding）?：使用環氧樹脂（EMC）包裹芯片，保護內部結構免受物理和化學損害。
3.?后段處理?
l ?激光打標?：在封裝表面刻印型號、批次等信息。
l ?電鍍與切割?：對引腳進行電鍍處理（如鍍錫/鎳），增強可焊性，并切除多余塑封材料。
三、封裝后測試（FT測試）
1.?功能驗證?
l 檢測封裝后芯片的電氣性能（如工作頻率、功耗、I/O信號完整性），確保符合設計規格。
l 通過邊界掃描（Boundary Scan）等技術驗證內部邏輯功能。
2.?可靠性測試?
l ?環境應力測試?：包括高溫/低溫循環（-55℃至+150℃）、高濕高壓（如85℃/85%RH）等，驗證芯片壽命與穩定性。
l ?機械強度測試?：如振動、沖擊測試，評估封裝結構可靠性。
3.?量產終測?
自動化測試設備（ATE）批量執行測試程序，生成測試報告（含良率、失效模式等數據）。
四、技術演進與效率優化
l ?自動化升級?：通過視覺定位系統與機械臂實現探針快速校準，提升CP測試效率（如每小時測試晶圓數量提升30%）。
l ?多芯片并行測試?：支持存儲器等芯片的多點同步測試，降低單顆測試成本。
集成電路封裝測試通過?晶圓篩選-封裝保護-功能驗證?的閉環流程，確保芯片性能達標與chang期可靠性。晶圓級測試（CP）與封裝后測試（FT）的分段實施，顯著降低制造成本（**品處理成本相差10倍以上）。隨著探針臺精度提升（達±0.1μm）與測試設備智能化，該流程正加速向高集成度、高可靠性方向演進。