在鍍膜儀內部的真空下降到一定程度的時候,如0.5mbar以下的時候,拿氦氣噴在懷疑有漏的地方,或者檢查標準保養時動到的部位.這時需要有人觀察檢漏儀的漏率指示值的變化.當漏率上升或漏率值變化劇烈的時候,及時指出漏點所在位置,并做記號。
真空鍍膜儀真空室內漏氣都是從室壁上的一些小孔或部件之前的銜接位細縫中發生，當抽氣體系抽氣后使真空室內壓強降低，外部與內部的壓強差使氣體從壓強高的外部流向壓強低的真空室內，形成真空度降低。在檢漏的過程中，需求留意一些問題，才能把檢漏作業做好。
1、要查看漏氣究竟的虛漏仍是實漏，因為工件資料加熱后都會在不同程度上發生氣體，有也許誤以為是從外部流進的氣體，這即是虛漏，要掃除這種狀況。
2、測驗好真空室的氣體密封功能，確保氣密功能符合要求。
3、查看漏孔的巨細，形狀、方位，漏氣的速度，制備出可處理方案并施行。
4、斷定檢查儀器的最小可檢漏率和檢漏靈敏性，以大規模的檢查出漏氣狀況，防止一些漏孔被疏忽，進步檢漏的準確性。
5、掌握檢漏儀器的反應時刻和消除時刻，把時刻掌握好，確保檢漏儀器作業到位，時刻少了，檢漏作用必定差，時刻長了，浪費檢漏氣體和人工電費。
6、還要防止漏孔阻塞，有時因為操作失誤，檢漏過程中，一些塵埃或液體等把漏孔阻塞了，以為在該方位沒有漏孔，但當這些阻塞物因為內外壓強區別進步或別的緣由使漏孔不堵了，漏氣仍是存在的。
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