樣品兼容性表現為,測試樣品尺寸可達直徑 210mm,厚度 15mm,大樣品臺可進行馬達驅動、編程控制,能自動進行多區域測量,可直接放置各種類型和尺寸的樣品,減少制樣時間。
成像技術與模式上,采用的 PeakForce Tapping® 技術和 ScanAsys 原子成像優化技術,有接觸模式、輕敲模式、相位成像、抬起模式等多種成像模式,還可提供納米機力學性能和電學模式,如相位成像、力譜、壓電響應力顯微鏡、導電 AFM 和開爾文探針力顯微鏡等。
系統設計基于 Dimension Icon 平臺開發,具有低漂移、低噪音的特點,配備溫度補償位置傳感器,由模塊化設計的低噪聲控制電子器件驅動,可將探針掃描的閉環噪聲級別降低至單個化學鍵長度的量級。
操作便捷性上集成可視化反饋和預配置設置,操作簡單方便,從接觸圖形界面,到選擇優良操作模式,都有線性程序設置的邏輯化工作流程。
分析軟件如 Dimension EDGE PSS 版本集成了 AutoMET 軟件,具有操作員級別和工程師級別兩種操作模式,可實現一鍵完成多達 9 個晶圓 “合格 / 失敗" 的分類測試結果自動輸出,工程師還可設置所有 “通過 / 失敗" 檢測標準。