產品概述
吉時利 4200 - SMU 是一種高精度的儀器，可用于精確提供和測量電流、電壓，能進行寬范圍的 I - V 測量，包括亞 ρA 漏電測量、μΩ 電阻測量等。它是 4200 系列參數分析儀的核心組成部分，可與其他模塊如電容電壓測量單元（CVU）、超快速脈沖測量單元（PMU）等配合使用，為半導體器件、材料和工藝的電氣特性分析提供全面的解決方案。
產品特點
高精度測量：提供高分辨率的電流和電壓測量，測量分辨率可達 100fA，選配前端放大器后可提供 0.1fA 的測量分辨率；電壓測量分辨率達 1μV，測量精度為 100μV，電流測量精度為 10fA。
寬測量范圍：電壓源范圍為 1μV - 200V，電流源范圍為 0.1fA - 1A，可滿足多種不同類型器件和材料的測試需求。
多功能集成：集數字萬用表、電源、電流源、電子負載和脈沖發生器五大功能于一身，能同時精確提供和測量電壓 / 電流，還可直接或間接測量電阻相對于電流 / 電壓的關系。
高速測量能力：具備快速的測量速度，可實現高效的測試流程，節省測試時間。例如，在一些應用中可以快速完成對半導體器件的 I - V 特性掃描測量。
靈活配置：4200 系列參數分析儀可以根據不同用戶需求進行靈活配置，用戶可根據實際測試需求選擇不同的 SMU 模塊以及其他功能模塊，構建滿足特定測試要求的系統。
低電流測量穩定性：對于一些需要進行低電流測量的應用，如納米 FET 器件測試、LCD 顯示器制造等，4200 - SMU 表現出色。特別是新推出的 4201 - SMU 和 4211 - SMU 模塊，在提供電壓和測量電流時，支持的電纜長度和連接電容都要超過傳統 SMU，在電流測量范圍內，可以提供和測量的系統電容要比當前水平高出 1,000 倍。
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