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在內嚙合REXROTH齒輪泵中，內轉子為主動輪，外轉子為從動論，內外轉子的速比i=Z1/Z2。內外齒輪節圓緊靠一邊，另一邊被泵蓋上“月牙板”隔開。由于內外轉子齒數有一齒差，在嚙合過程中有二次嚙合存在,因此能形成幾個獨立的封閉包液腔。隨著內外轉子的嚙合旋轉，各包液腔的容積發生不同的變化，當包液腔容積由小變大時，包液腔內產生局部真空，在大氣壓力作用下，液體通過進口管道和泵蓋上的環形槽，進入泵腔開始吸液。當包液腔容積達到zui大時，吸液過程結束。當包液腔內的容積由大變小時，包液腔內的液體就從另一個環形槽壓出，此為泵的排出過程。
內嚙合REXROTH齒輪泵在工作過程中，內轉子的一個齒轉過一周，出現一個工作循環，即完成泵吸液至排液過程。一個轉子泵的內轉子有個齒，它每旋轉一周，必須出現個與上述腔相同的工作循環，內嚙合REXROTH齒輪泵便通過個工作循環連續不斷地向外輸液，故內外轉子繞互相平行的兩軸線做不同速度的同向運轉時，必發生相對運動，此運動使內外轉子間產生不斷變化的空間，并與吸液排液道接通，以達到吸排液的目的。
特點：內嚙合REXROTH齒輪泵可反向輸送，只要更換電機轉向即可；內嚙合REXROTH齒輪泵泵體可轉向，進出口位置成直角，便于選配進出口位置；內嚙合REXROTH齒輪泵在泵體、端蓋、軸承座間都有連接方便的保溫或冷卻介質的進出接口。
嚙合REXROTH齒輪泵有許多優點，如結構緊湊，體積小，零件少，轉速可高達10000r/mim，運動平穩，噪聲低，容積效率較高等。缺點是流量脈動大，轉子的制造工藝復雜等。
內嚙合REXROTH齒輪泵可正、反轉，可作液壓馬達用。