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費休氏水分測定儀在維護時需要注意，大多數水分測定儀采用一支極化雙鉑電極測量電壓。使用一段時間后，某些費休氏水分測定儀試劑和樣品將使電極響應失效，終點識別延遲，以至終點顏色變成棕色而不是黃色，如果出現此類情況，使用人員就必須要對電極進行清洗。

在對電極進行清洗時，需要先將電極置入有去離子水或乙醇的超聲波清洗槽中清洗幾分鐘;或放在鉻酸中清洗60s，然后再用去離子水或乙醇清洗，并且需要保證使用前干燥。對電極清洗以后，還需要觀察儀器的漂移值，為每分鐘幾微升（指為了保持滴定池是干的，單位時間內所消耗的試劑量；如果漂移值變大，則必須檢查儀器的密封性或考慮再生分子篩。再生時將分子篩放入160～300℃的干燥爐中干燥至少24h。

對安裝在廢水瓶上的分子篩因含有水和二氧化硫，故再生前還須用蒸餾水清洗。對于滴定管的清洗，尤其需要注意，不可將滴定管放在溫度高于40℃的地方。只能將滴定管用乙醇溶液清洗，并且連接用的O形圈和橡膠墊不可放入有機溶劑，這樣可以延長橡膠墊的使用壽命。

在每臺費休氏水分測定儀內部都有自檢系統，方便使用者對儀器使用過程中出現的部分故障進行自檢。如果卡氏水分測定儀出現故障，會給出相應的故障信號。用戶只要對照儀器說明書，就可了解故障原因，并有針對性地加以排除。

同時，費休氏水分測定儀必須放在干燥清潔的環境中，并安排專人保管；如果長期不用，必須將卡氏水分測定儀內的所有試劑抽出，并將所有管子清洗干凈，風干保存。