3D粗糙度重建模塊可以幫助用戶更加細致的分析Phenom臺式掃描電子顯微鏡所得到的圖像，提取出樣品的隱藏信息，并將其可視化。

3D

3D圖像可以幫助用戶更好的理解樣品特點，使得在2D圖像中很難分辨的凹坑、劃痕、刻紋等特征，變得清晰可見。

 粗糙度

平均粗糙度（Ra）及粗糙高度（Rz）的測量對于生產工藝的控制和改進具有重要意義。使用SEM圖像作為信息收集手段，可以獲得較傳統（非直接）手段更佳的分辨率。

3D粗糙度重建模塊是Phenom的理想擴展，特別適用于下列領域：

機械加工的質量控制

 紋理分析

? 證物鑒定

? 缺陷&失效分析

?摩擦學-磨損分析

3D粗糙度重建模塊的主要優點：

?   遠優于光學或機械測量手段

 高分辨率

 可測量反射樣品

 直接測非破壞性

?   創新性全自動用戶界面

?   無需傾斜樣品

?   完整解決方案

?   快速重建

?   適用于任何Phenom