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半導體專用真空烘箱真空干燥箱實驗室烘箱
DZF-620型真空干燥箱是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設備。該款主要是半導體專用新型真空烘箱，升溫降溫可控，實時監(jiān)測氧含量濃度，負壓內微循環(huán)，自主研發(fā)全套臺達PLC控制系統(tǒng)，也可廣泛應用于電子化學、農業(yè)科研、環(huán)境保護等研究領域。

半導體專用真空烘箱真空干燥箱實驗室烘箱

一、產品概述：

真空干燥箱是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設備。它是利用真空泵進行抽氣抽濕，使工作室內形成真空狀態(tài)，降低水的沸點，加快干燥的速度，用作粉末干燥、材料退火處理、半導體處理、新能源電池試驗、航天部件封裝試驗、電子產品生產過程中脫泡、脫水，硬化干燥等。廣泛用于電子化學、農業(yè)科研、環(huán)境保護等研究領域。

二、技術參數(shù)：

型號	DZF-620
內膽尺寸(寬深高)	470450450mm（可定制各種大小）
容積	95L（可定制各種大小）
溫度范圍	室溫~200℃
溫度波動度	0.2℃
升溫速率	室溫~150C/30min
降溫速率	150C~60C/30min
真空度	極限 100Kpa~0.1KPa
抽氣速率	02KPa/5min
真空泄漏率	24h/0.7Kpa
真空度釋放	5~15min
氧濃度	1000ppm 以下
電壓	380V/50HZ
功率	5500W

三、產品特點：

1、真空度、溫度自由調整，可在某一固定溫度和某段真空度范圍條件下自動保持。

2、設備控制系統(tǒng)為全套臺達PLC控制，溫度均勻、真空度可靠。自動記時，當溫度升溫到設定值時設備開始計時，計時達到設定值時，設備停止加熱，處于真空保持。

3、數(shù)字獨立限溫保護，接地保護，漏電保護，真空泵過熱保護，循環(huán)電機過載保護。

4、一次性澆注成型耐高溫硅橡膠門封條，確保良好真空度。

5、內加熱快速升溫水冷卻管道快速降溫。

6、數(shù)字壓力傳感器，旋片式油泵，氧含量濃度檢測。

7、控制邏輯：觸摸屏控 SSR 溫度接觸器運行，抽氣運行，放氣自動，溫度與真空度分段循環(huán)設置。

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