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臭氧消毒機主要用于食品藥品化妝品等行業的加工車間和類似場所的空氣滅菌和物體表面滅菌。臭氧消毒機按安裝形式可分為：移動式、壁掛式、吊燈式、落地式等。臭氧消毒機在制藥廠GMP車間和HVAC系統配套使用時，通常分為內置式和外置式兩種。使用臭氧發生器制取臭氧的機器稱為臭氧消毒機，這里臭氧作為消毒劑使用。

臭氧發生器是利用高壓電離（或化學、光化學反應），使空氣中的部分氧氣分解聚合為臭氧，是氧的同素異形轉變過程；亦可利用電解水法獲得。臭氧的不穩定性使其很難實現瓶裝貯存 ，一般只能利用臭氧發生器現場生產，隨產隨用。臭氧發生器的分類 按臭氧產生的方式劃分，目前的臭氧發生器主要有三種：一是高壓放電式，二是紫外線照射式，三是電解式。