OLED顯示器件生產工藝中等離子清洗機主要用于生產工藝線上有機沾污的清洗處理。

等離子清洗機能夠去除金屬、陶瓷、塑料、玻璃表面的有機污染物，可以明顯改變這些表面的粘接性及焊接強度。離子化過程能夠容易地控制和安全地重復實現。等離子清洗機的表面處理對于產品的可靠性或過程效率的提高是至關重要的，通過表面活化，等離子清洗機可以改善絕大多數物質的性能：潔凈度、親水性、斥水性、粘結性、標刻性、潤滑性、耐磨性。

等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.

等離子清洗機對芯片表面處理后，可用于芯片鍵合、芯片表面浸潤性改變。

等離子清洗機使用范圍。
1.Plasma處理機清洗電子元件、光學器件、激光器件、鍍膜基片、芯片。
2.等離子處理設備能清洗光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。
3.等離子清洗機能移除光學元件、半導體元件等表面的光阻物質。
4.等離子處理機清洗ATR元件、各種形狀的人工晶體、天然晶體和寶石。
5.等離子刻蝕機清洗半導體元件、印刷線路板。
6.plasma處理設備清洗生物芯片、微流控芯片。
7.等離子處理設備清洗沉積凝膠的基片。
8.等離子表面處理設備能對高分子材料表面修飾。
9.等離子清洗器能對牙科材料、人造移植物、醫療器械的消毒和殺菌。
10.等離子活化機改善粘接光學元件、光纖、生物醫學材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。

等離子清洗機用于液晶面板產業STN、TFT、OLED、LTPS及軟板、光電元件、電子元件封裝貼合前清潔