等離子清洗機是高精度的干法清洗設備，它的清洗范圍為納米級別的有機和無機污染物，ICD行業中的ITO玻璃在運送和濕法清洗后，表面殘留的有機溶液和無機顆粒，成為影響IC貼合到ITO玻璃上的主要因素。利用等離子清洗機來對ITO玻璃進行表面清潔，是比較有效的清潔方法。

對LCD液晶玻璃采用等離子清洗機使用的活化氣體是氧的等離子體，它能除去油性污垢和有機污染物粒子，因為氫等離子體可將有機物氧化并形成氣體排出。通過等離子清洗機洗凈工藝后的電極的端子與顯示器，增強了偏光板粘貼的成品率，并目電極的端子與導電膜間的粘附性也大大改善，從而改善了產品的質量及其穩定性。

PLASMA等離子清洗機用于LCD封裝表面蝕刻處理

在玻璃基板（LCD）上安裝裸芯片IC（bare chip IC）的COG工藝中，當芯片在高溫下鍵合固化時，基板涂層的成分沉積在鍵合填料的表面。有時，銀漿和其他粘合劑會溢出并污染粘合填料。在熱壓結合工藝之前采用等離子清洗機能去除這些污染物可以顯著提高熱壓結合的質量。此外，通過提高裸芯片基板與IC表面的潤濕性，提高LCD-COG模塊的附著力，減少線路腐蝕問題。

等離子清洗機能去除金屬、陶瓷、塑料和玻璃等表面的有機污染物，并能顯著改變這些表面的粘合強度和焊接強度。電離過程易于控制并且可以安全地重復。等離子清洗機有效的表面處理是提高產品可靠性和工藝效率的關鍵。等離子清洗機能通過表面活化提高大多數物質的性能：清潔度、親水性、拒水性、內聚性、可拉伸性、潤滑性和耐磨性。