該產(chǎn)品主要應用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、 基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點數(shù)多，能給出場面型分布結果，適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)量的快速檢驗和微電子生產(chǎn)研究。
儀器基于干涉計量的場測試原理，可實時觀測面型的分布，迅速了解被測樣品的形貌及應力集中位置，及時淘汰早期失效產(chǎn)品。
產(chǎn)品特點
計算機自動條紋處理
測試過程自動
曲面補償測試原理
指標
樣品尺寸：≤100mm (4英寸)
曲率范圍：|R|≥5米
測試精度：5%
單片測量時間：3分鐘/片
結果類型：面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能：三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電    源：AC 220V±10%, 50Hz±5%
功耗：100W
外型尺寸：(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重    量：36kg