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四探針電阻率采購時需說明測試介質的性質,根據不同的介質選配不同個測試探頭,以便達到設置的實驗目的!具體信息可打詢問!
四探針電阻率測定儀 貨號:ZH221
嚴格按照硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及標準設計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進
是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機配置雙數字表,在測量電阻率的同時,另一塊數字表(以之幾的精度)適時監測程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關,在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器,測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。
主機能數
測量范圍:
可測電阻率:0.0001~19.9999cm
可測方塊電阻:0.0001~1000Ωcm
恒流源:
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續可調
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流精度:檔均低于±0.05%
直流數字電壓表:
測量范圍:0~19.999mV
靈敏度:1μV
基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%滿度)
輸出電源:≥1000ΩM
供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
使用環境:
溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%
較強的電場干擾,強光直接照射
重量、體積:
主機重量:7.5kg
體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×高度)
四探針頭
產品簡介
使用幾何尺寸的紅寶石軸套,確保探針間距的恒定、準確。
控制寶石內孔與探針之間的縫隙不大于6μm,探針的小游移率。
采用的S型懸臂式彈簧,使每根探針都具有立、準確的壓力。
量具精度的硬質合金探針,在寶石導孔內穩定運動,持久耐磨。
用途
測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率,測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻。
測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻。
探針間距
直線四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
方形四探針…………… 1.00mm
直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
兩探針 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
指標
游移率
B…………… <0.5%
A……………<0.3%
AA………… <0.2%
AAA…………<0.1%
間距偏差
B…………… <3%
A…………… <2%
AA………… <2%
AAA………… <1%
zui大針與導孔間隙:0.006mm
探針材料:硬質合金(主成份:進口碳化鎢)或高速鋼
探針壓力 標準壓力:6—10N(4根針總壓力)
小壓力:1.2—5N(4根針總壓力)
1牛頓(N)=101.97克
針尖壓痕直徑:25—100μm、100—250μm(簿層)
500V緣電阻:>1000MΩ
四探針手動測試架
產品簡介
支架尺寸:
豎測高度:500mm
臺面:200×300mm/240×380mm
特點:
主于測棒、塊。
注:其它尺寸可按要求訂做
四探針手動測試架
產品簡介
支架尺寸:
豎測高度:120mm
臺面:200×300mm
特點:
主于測片。
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