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質量流量計,質量流量控制器介紹
閱讀：2268 發布時間：2020-5-11
HORIBA集團旗下經典，*大的產品即熱式質量流量控制器，其原理是利用氣流流過毛細管造成毛細管上下游溫差從而檢測、控制氣體質量流量。不同于容積式流量計或流量控制器，其流量精度不受氣體壓力、環境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反應氣流瞬時流量，所以適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。
應用市場
質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、FPD、光纖、光伏、真空鍍膜、分析、化工、環境、食品、生物制藥等行業的氣流測量與控制。
質量流量控制器和質量流量計的區別
質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控制兩種功能。
質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測量功能，不具備氣流控制功能。
質量流量控制器和質量流量計的單位
SCCM、SLM為常見的MFC或MFM的使用單位。SCCM和SLM是指在標準條件下的體積單位。標準條件指溫度為零攝氏度，一個標準大氣壓的條件。
SCCM–標準立方厘米每分鐘
SLM–標準立方升每分鐘
1000SCCM = 1SLM
質量流量控制器和質量流量計使用小貼士
- 一般情況下當一顆MFC或MFM接上電源線后，確保環境溫度穩定并使其接電預熱15分鐘以上，可有效確保產品精度及穩定性。
- 在安裝過程中，位于MFC或MFM背部大標簽下方有指示氣體流經的方向。
- 質量流量控制器中的Normal Close與Normal Open的區別
Normal Close型的MFC： 斷電情況下，閥保持常關狀態的MFC。
Normal Open型的MFC： 斷電情況下，閥保持全開狀態的MFC。