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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業,電子/電池,電氣 |
HORIBA SEC-E40V（MK3）質量流量控制器
產品簡介
詳細介紹
HORIBA SEC-E40V（MK3）質量流量控制器
SEC-E系列
型號: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
產品特點
1.適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
2. 適用于廣泛的用途：在普通產業市場中，擁有眾多的銷售業績。
3.低成本：產品陣容中有力求具有成本優勢的型號： SEC-E40MK3、SEC-E50MK3
技術規格
型號 | SEC- (質量流量控制器) | SEC-E40、SEC-E40MK3 | SEC-E50、SEC-E50MK3 |
SEF- (質量流量計) | SEF-E40 | E50 | |
適用氣體種類*1 | 非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) | ||
氣體接觸部材質 | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 | ||
閥門型號 | 非通電時 關閉 | ||
標準流量量程 (N2相應F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
流量控制范圍 | 2?100% F.S. | ||
流量測量范圍 | 0?100% F.S. | ||
響應速度 | 1秒以內(T98) | ||
流量精度 | ±1% F.S. | ||
直線性 | ±0.5% F.S. | ||
反復性 | ±0.2% F.S. | ||
工作差壓值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
使用壓力 | 300kPa(G)以下 | ||
耐 壓 | 1MPa(G)以下 | ||
外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
使用環境溫度 | 5?50℃(精度的確保：15?35℃) | ||
流量設定信號 | 0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S. | ||
流量輸出信號 | 0?5VDC(小負荷電阻2kΩ) | ||
驅動電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
標準接頭*2 | 1/4SWL 類型 | ||
HORIBA SEC-E40V（MK3）質量流量控制器