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可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
電磁閥使用壽命≥100萬次
對零點漂移有效的控制
良好的選擇性
產品簡介
詳細介紹
日本HORIBA S48-32HMT(≤50SLM)氣體質量流量控制器
概要；
- 可以任意角度安裝
- 良好的線性——多段線性補償
- 快速的響應
- 電磁閥使用壽命≥100萬次
- 對零點漂移有效的控制
- 良好的選擇性
- 零配件供應——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
編號 項目 S48 32/HMT 1 流量規格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min2 調節閥類型 電磁調節閥 3 調節閥靜止狀態 常閉 4 安裝角度 任意 5 流量控制范圍 2%～* 6 流量測量范圍 0～* 7 響應時間 2s（T98，設定值的±2% F.S.） 8 工作環境溫度 5℃～50℃ 9 精度保證溫度 15℃～35℃ 10 精度 ±1.0%F.S. 11 線性精度 ±0.5%F.S. 12 重復性 ±0.2%F.S. 13 工作壓差 ～5L/min (50～300)kPa(D)
5L/min～10L/min (100～300)kPa(D)
30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)14 耐壓 3MPa 15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s （He） 16 接觸氣體材料 316L,PTFE,Viton氟橡膠 17 管路接頭 Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ 18 供電電源 ±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA +24VDC(寬電壓+11～+25V),
＜250mA(+24Vdc供電時)19 設定信號 (0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） 20 流量輸出信號 (0～5)VDC 負載能力≤3mA 21 電氣接頭 D-SUB15,D-SUB9 22 重量(kg) 0.9
