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2025
04-212025
04-16如何優化PECVD等離子體增強氣相沉積過程以提高薄膜質量和沉積均勻性?
PECVD等離子體增強氣相沉積是一種廣泛應用于制備薄膜材料的技術。為提高薄膜質量和沉積均勻性,可從以下幾個關鍵方面進行優化。??一、工藝參數的精細調控??1、??功率控制??射頻(RF)功率是PECV...2025
04-152025
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