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布魯克Bruker平面內電流隧道系統SmartProber-P1

——用于企業研發和故障分析中 300mm 晶圓應用的電動系統

·高垂直面

磁場

·可配置

設計和選項

·全晶圓覆蓋

高達 300 毫米

·0.1-100 kΩμm2

RA 范圍

這種類型的 SmartProber 有多種配置可供選擇。如果需要高垂直場，但只需要測量小樣品，則可以用更便宜的手動載物臺代替自動晶圓載物臺。

SP-P1 – 6kOe 磁體，300mm 旋轉晶圓臺
配置選項：
C：附加場強為 2kOe 的面內磁體模塊
Y：200mm XY 晶圓臺
M：用于小樣品的手動晶圓臺
L：10kOe 磁體

布魯克Bruker平面內電流隧道系統SmartProber-P1