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SMC面向半導體行業推出的無氟利昂（CO?冷媒）溫控器，以環保性、高效性、穩定性和智能性為核心優勢，契合行業對環保與高精度溫控的雙重需求。

應用優勢：

合規性與成本優化

零氟利昂管理：無需回收或處理費用，降低合規成本。

減少碳足跡：GWP值較傳統冷媒降低99%以上，助力企業實現碳中和目標。

生產效率提升

高穩定性溫控：減少因溫度波動導致的良率損失，提升生產效率。

快速響應能力：變頻泵與智能控制結合，縮短工藝切換時間。

長期可靠性

無泄漏設計：集液罐與泵一體化設計，避免循環液外部泄漏。

長壽命部件：采用耐腐蝕材料與高精度制造工藝，延長設備使用壽命。