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半導體冷水機的作用

2017-7-21　閱讀(4131)

半導體冷水機的作用

半導體冷水機是指應用在半導體領域，如掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機組。

半導體冷水機的出現以及廣泛應用，是隨著科技的不斷發(fā)展，現代超精密制造、加工、測量儀器對工作環(huán)境提出了苛刻要求，尤其是以光刻機為代表的超大規(guī)模集成電路制造設備，其高集成度導致常規(guī)散熱方法遠遠不能滿足要求，同時投影物鏡的光刻質量、運動部件的定位精度以及測量裝置的測量精度等都對環(huán)境參數的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此，環(huán)境參數尤其是溫度的控制成為一項關鍵問題，而半導體冷水機的出現正好解決了這一難題。

　半導體冷水機溫度控制系統是保證步進掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器設備良好工作狀態(tài)的重要組成單元。

半導體冷水機參數：

產品名稱	型號	制冷量		出水壓力 Kgf/cm	水流量 l/min	功率 W	水箱容積 L	外形尺寸長寬高
半導體冷水機	型號	Kw/h	Kca/h	出水壓力 Kgf/cm	水流量 l/min	功率 W	水箱容積 L	外形尺寸長寬高
	TF-LS-300W	0.3	258	0.1-0.6	9-20	280	5.5	505230500
	TF-LS-600W	0.6	516	0-2	0-60	900	16	650550750
	TF-LS-1KW	1	860	0-2	0-60	900	16	650550750
	TF-LS-1.5KW	1.5	1290	0-2	0-60	900	16	650550750
	TF-LS-2KW	2	1720	0-2	0-60	1200	27	650550900
	TF-LS-2.5KW	2.5	2150	0-2	0-60	1200	27	650550900
	TF-LS-3KW	3	2580	0-2	0-60	1500	37	6506501050
	TF-LS-3.5KW	3.5	3010	0-2	0-60	1500	37	6506501050
	TF-LS-4KW	4	3440	0-2	0-60	2000	43	7006501050
	TF-LS-4.5KW	4.5	3870	0-2	0-60	2000	43	7006501050
	TF-LS-6KW	6	5160	0-2	0-60	2300	45	7506501050
	TF-LS-6.5KW	6.5	5590	0-2	0-60	2300	45	7506501050
	TF-LS-8KW	8	6880	0-2	0-60	2865	47	7507001050
	TF-LS-10KW	10	8600	0-2	0-60	2865	47	7507001050
	TF-LS-12KW	12	10320	0-2	0-60	3870	80	12006501200
	TF-LS-15KW	15	12900	0-2	0-60	4600	88	12007151200
	TF-LS-18KW	18	15480	0-2	0-60	5280	105	13507501500
	TF-LS-20KW	20	17200	0-2	0-60	7150	180	13508001600
	TF-LS-23KW	23	19780	0-2	0-60	7150	180	13508001600
	TF-LS-25KW	25	21500	0-2	0-60	9000	195	13508501735
	TF-LS-30KW	30	25800	0-2	0-60	9000	195	135085017358