您好, 歡迎來到化工儀器網
修復雙重圖形誤差的途徑.切割和縫合
閱讀：589 發布時間：2018-9-4
雙重圖形（DP）是指將單層IC版圖分解成兩個光罩，在此過程中，有許多多邊形配置可能會導致違反DP設計規則。其中一些錯誤可藉由增加多邊形之間的間距進行修復。然而有些DP錯誤，像奇數圈 (odd cycle)的誤差，可能難以修復。如果你的版圖通過一種類似手術的修正方式，在關鍵節點進行切割來解決DP錯誤，那么就會變得非常簡單。
這種修正技術稱為“切割和縫合”(cutting and stitching)，通常只將其稱為縫合。讓我們來看一下它的工作原理。圖中給出了一對無法正確分解成兩個光罩的典型版圖配置。
左邊上面一行顯示了一個與其本身有小間距問題的單個多邊形。換言之，被高亮顯示的小間距在多邊形的邊緣之間是不允許的，除非多邊形的邊屬于不同光罩。因為所有涉及小間距的多邊形的邊均位于同一多邊形上，所以其必須位于相同的光罩上。修正方案是增加這些間距，這就需要更多的設計區域。左下行顯示了一個奇數圈錯誤。這三個多邊形無法拆解成兩個光罩，因為用二除三時，一定會存在余數。