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930系派克parkerUHP隔膜閥產品介紹
930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動操作和氣動執行器操作。它擁有優異的可靠性，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導體行業中成為理想的應用。
派克930系列1-1/8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優異的泄漏完整性，高循環使用壽命和低顆粒發生，非常適用
于UHP半導體應用。
930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計，可大限度地減少顆粒產生和截留，減少半導體應用中*不
可*的工藝污熱，該系列閥門的嚴格設計，控制閥座和隔膜應力，以提供穩定和免維護的使用壽命。930系列
閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供卓*的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內部采用電拋光處理的
Vericlean"316l不銹鋼材質。Vericean"是派克的UHP級小銹鋼，溫道是高強度鉆具合全材質。930系列讓
提供聚三氟氯，烯(PCTFE)，聚國國樹脂(PEEK)和聚酰業胺(Vespel)材質的閥座，口使930代門
與多種工藝流體相兼容。這些材料結合930系列嚴格的設計特點，給予了930系列產品在入口壓力高達300
psig時的耐腐蝕性和更大循環使用壽命。
930系列氣動代可以配警限位開關或接近開關，用以提供開-關位置指示，還有多種代體構造可選，包括
930Y系列(Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。
930系列閥門上內部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試，以適應在苛刻的
UHP應用中，保有其性能和穩定性，
市場:
·半導體
·分析實驗室
·制藥
·生物制藥
·航空航天
·工業
930系派克parkerUHP隔膜閥特點與優勢:
·電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)
·高循環使用壽命(包括耐腐蝕性服務)
，內部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產生和氣體截留
，全壓力范圍使用:從真空到300 psig
·內部泄漏率:≤1x10-9 scc/sec He
·外部泄漏率:s2x10-10 scc/sec He
，AOP驅動，額定壓力為75 psig
應用:
，腐蝕性氣體和特種氣體
·半導體工具
·工具連接
·燃氣柜
·閥組箱(VMB)
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