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CS200（A）數字式氣體質量流量控制器（MASS FLOW CONTROLLER）
技術參數：
| 型號 | CS200（A） |
| 流量規格（N2） | （ 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500）SCCM （0～1,2,3,5,10,20,30,50）SLM |
| 準確度 | ±1.0% S.P. （≥35% F.S.） ±0.35% F.S.（＜35% F.S.） |
| 線性 | ±0.5% F.S. |
| 重復精度 | ±0.2% F.S. |
| 響應時間 | ≤ 1sec |
| 閥類型 | Normally Closed or Normally Open |
| 工作壓差范圍 | （0.05～0.35） Mpa（≤10slm） （0.1～0.35） Mpa（20slm，30 slm） （0.2～0.45） Mpa（50 slm） ＜0.02MPa |
| 溫度系數 | Zero: ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃ |
| 大工作壓力 | 3MPa |
| 零漂 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
| 漏率 | 1×10-9 atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
| 密封材料 | Viton;Neoprene |
| 表面粗糙度 | 25Ra |
| 工作環境溫度 | （5～45）℃ |
| 輸入信號 | Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:（0～5）VDC or （4～20）mA |
| 輸出信號 | Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:（0～5）VDC and （4～20）mA |
| 電源 | ±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC（400mA） |
| 電氣連接 | D sub 9 pins male，D sub 15 pins male |
| 標準接頭形式 | VCR1/4” M；SwagelokΦ3；SwagelokΦ6； SwagelokΦ10； Swagelok1/4”；W-seal；C-seal |
| 重量 | 1kg |
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