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NTE-3500Thermal Evaporator熱蒸發(fā)系統(tǒng)

NTE-3500Thermal Evaporator熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述：

    提供NTE-4000和NTE-3000型號(hào)的PC計(jì)算機(jī)控制的熱蒸發(fā)系統(tǒng)，可沉積有機(jī)物和金屬。設(shè)備具有小占地面積、干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝過(guò)程、低價(jià)格, 高性能以及高能力的特點(diǎn)。可以在設(shè)定的RMS電流下，或者在閉環(huán)的配置下操作，并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• zui大可支持7"的方片或200mm的晶圓片
• 沉積速度可控
• 旋轉(zhuǎn)的樣品臺(tái)
• 雙坩堝或舟
• 2KVA SRC控制電源
• 晶振式膜厚監(jiān)測(cè)儀
• 通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)控制

產(chǎn)品型號(hào)：

• NTE-4000：基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立系統(tǒng)
• NTE-3500：基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立系統(tǒng)
• NTE-3000：基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的雙蒸發(fā)源臺(tái)式系統(tǒng)
• NTE-1000：計(jì)算機(jī)控制的單蒸發(fā)源臺(tái)式系統(tǒng)