完整性泡點孔徑測試儀采用常用的全自動數字進氣控制子系統，摒棄了國內落后的機械半自動進氣方式（即手動調節單向節流閥改變氣體流量），使測試儀能夠在不同的氣源壓力和測試條件下工作穩定可靠，特別是當客戶使用的氣源壓力波動較大時，儀器具有自動穩定和數字控制技術，確保測試結果的準確性和準確性。
由于毛細作用，潤濕液停留在膜的多孔通道中，這種毛細作用隨著孔徑的減小而增加。取決于膜孔徑的氣體壓力迫使液體流出孔。此時的壓力稱為“泡點”或簡稱BP。液體會從膜上的大孔徑中流出。因此，濾芯的BP值還與膜材料的表面張力有關（潤濕角因材料不同而異），尤其是潤濕液。低表面張力液體，如有機溶劑、洗滌劑和乳化劑，其BP值較低。BP值還與潤濕介質的溫度有關。完整性泡點孔徑測試儀泡點測試法特別適用于晶圓薄膜的完整性測試。
當樣品高壓側的氣體壓力大于樣品膜孔中的毛細壓力和表面張力時，它會從樣品的另一側釋放，壓緊孔隙中的潤濕液通過氣體壓力排出到樣品的低壓側。此時試樣高壓側的壓力被認為是泡點壓力，此時的現象應該是試樣中出現一系列連續的氣泡。
完整性泡點孔徑測試儀在進行完整性測試之前，必須確保測試過濾材料已被*浸泡。人工滲透的方法一般如下：將濾料放入滲透液中充分浸泡20分鐘左右，每隔3分鐘提起一次濾料以消除氣泡，使大氣壓水力滲入膜孔。產品潤濕液不是指水，也不是產品或工藝流體，而是指溶劑。產品潤濕后，同一濾材的完整性測試結果可能會有所不同。造成它們不同的原因是潤濕液的表面張力系數不同。測試氣體在擴散流中的溶解度和擴散能力也會造成測試結果的不一致。對于該系統，推薦的浸泡溶液是碳氟化合物、無水乙醇或60%異丙醇和水的混合物。由于界面張力的分子重力，潤濕液被牢牢鎖在濾料的微孔間隙中。
