所有濕化學部件均采用耐用、耐酸、高純度的PTFE聚四氟乙烯材料，而不是不耐HF、純度亦無法媲美的石英材料。
清洗腔采用一體成型工藝，無懼高溫，常年使用無開裂之憂。而某些類似產品通過粘結方式把廉價的板材拼接成方形腔體，長期的高溫使用會逐漸對粘結處造成致命損害，開裂漏酸是早晚的事情。
另外，一體成型的圓柱形清洗腔，*，極易清洗。而粘結的方形腔體死角非常多，污染物很難*排除。
更重要的，圓柱形更加符合流體動力學，清洗腔內部酸汽分布均勻。而方形腔體周邊與中心位置差別很大，很難保證清洗的均勻性。
蒸汽單循環技術（OWV）無廢酸二次污染
蒸汽單循環技術確保用過的酸直接從系統中排出，不會有回流到酸池，因此避免了清洗后的臟酸污染凈酸。
在傳統技術（酸逆流）中，廢酸會反復回流到酸池中并蒸發。結果，廢酸不斷地污染凈酸，所產生的蒸汽也越來越臟，造成清潔效率降低。
實驗證明，采用蒸汽單循環的清洗效果，要優于酸逆流若干個數量級。
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