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產品簡介
詳細介紹
勻膠顯影機
勻膠顯影機是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。
不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級別400瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中的zui大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保勻膠和顯影的穩定性和*的可重復性。
主要性能指標：
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）
旋涂程序：zui多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒
轉動速度：0-5,000rpm（更高速可選）
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（空載）
馬達旋涂轉速穩定性能誤差<±1rpm
轉速調節精度<1rpm，重復性<1rpm
工藝時間設定：0-3,000sec/step，時間設置精度：0.1sec
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）
標準配置兩路噴液系統（顯影液和去離子水）
產品特性優點：
主機在之前的勻膠機上升級，增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋
全程序編輯功能，更方便的智能化操作，更好的顯影/清洗效果
可實現zui多獨立四路噴液用于顯影/清洗工作，或進行氮氣吹干
控制器可實現程序自動控制噴液或進行手動操作，使用更加方便
顯影系統可進行噴霧式、柱流式多種選擇，視要求進行配置
提供客戶定制化的顯影系統配置和工裝設計
高可靠性和重復性，高轉速精度和更高轉速可選
可添加去邊膠和背膠清洗功能