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光纖通信的MEMS光歐瑪爾OMAL開關
隨著光纖通信網絡的快速發展，對光無源器件包括光OMAL開關的需求越來越大，光OMAL開關是用來重新配置光網絡或增加其可靠性的。對于局域網來說，降低光無源器件的成本是關鍵。近階段，大家正在把MEMS技術用在制造光OMAL開關上面，因為用MEMS技術可提高光OMAL開關的性能，同時減小器件的體積、成本，zui為重要的一點是它可以把光OMAL開關做在一塊硅片上，能夠大規模集成光OMAL開關陣列，這對于波分復用器DWDM是很重要的。

光纖通信的MEMS光歐瑪爾OMAL開關
MEMS光OMAL開關是采用表面微細機械加工技術制作而成，硅表面微機械加工技術是以CMOS集成電路工藝為基礎的，它可以靈活地把光OMAL開關集成在一塊硅片上。利用硅表面微加工技術設計出一種磁力驅動懸臂梁式光OMAL開關，此MEMS微光OMAL開關的特性是光與光直接轉接，不再通過光—電—光轉換，使光的傳輸和轉接達到*狀態。磁力驅動方式在MEMS領域得到越來越多的應用，因為磁力驅動有以下好處，首先磁力驅動所需要的電壓遠遠小于靜電力驅動電壓。其次，磁力驅動可以得到自鎖定的光OMAL開關，實現在保持“開”、“關”狀態都不需要電壓，大大節省能源，達到環保的效果。再次，磁力驅動的控制方法比靜電驅動、熱驅動、壓電驅動簡單得多，而且對于要求實現大撓度的應用來說，是zui為理想的驅動方式。zui后，zui為關鍵的是磁驅動的基本材料與微機械加工技術是相兼容的，它們可以采用微機械加工方法進行加工。光OMAL開關的切換可以通過懸臂梁下端的電磁鐵線圈中的電流進行控制。該光OMAL開關的一些重要特性可總結如下：首先是采用磁力驅動可實現雙穩態，而且在兩個狀態下都可以不施加任何電壓；其次是低損耗，OMAL開關切換電流僅為80mA～100mA左右，電壓為2～5V左右；再其次是平面鏡與光纖可以實現自校正，大大降低了損耗和校正成本。主要研究工作首先對光OMAL開關市場及發展進行調研，其次簡單介紹MEMS技術及MEMS技術在光通訊中的應用，接著概述MEMS光OMAL開關研究現狀，提出MEMS光OMAL開關現存在的問題，探討靜電和電磁驅動方式，zui后提出課題的意文、主要內容和研究方法。光OMAL開關結構設計。首先根據電磁鐵的非線性特性和梁的抗彎曲力的線性特性，設計出磁力驅動懸臂梁式光OMAL開關結構，然后根據提出的結構，從理論上對懸臂梁的參數進行模擬分析選出合適的懸臂梁參數，緊接著分析平面鏡的厚度、表面粗糙度、垂直度對光OMAL開關性能的影響；工藝：首先簡單地介紹硅單晶的晶向以及各向異性腐蝕工藝中的清洗、氧化、光刻等基本知識；然后分析了TMAH各向異性腐蝕原理如TMAH對晶體晶向的選擇性，腐蝕速率與溶液溫度和濃度的關系，溶液濃度對被腐蝕晶體表面粗糙度的影響。zui后提出光OMAL開關工藝的設計方案，畫出工藝流程圖，模版，開始送實驗室制作。

光纖通信的MEMS光歐瑪爾OMAL開關
zui后對磁路系統，明確選擇具有矩形磁滯回線的材料，設計出電磁鐵的結構。優化系統參數。首先用ANSYS軟件對光OMAL開關系統進行磁-力耦合場分析，得出系統的整體優化曲線和耦合圖；接著用能量法估算出懸臂梁的基振頻率；zui后分析光 OMAL開關的性能。