詳細介紹
Radiant的懸臂梁法測薄膜橫向壓電系數e31測試裝置結合Radiant Precision系統可精確地確定壓電薄膜系數e31、d31和e33,重新加載一致性達到2%。
Radiant的懸臂梁法測薄膜橫向壓電系數e31測試裝置可測量懸臂上沉積的壓電薄膜的系數。通過向壓電薄膜施加電壓使基材向不同方向彎曲。由配置的光電傳感器捕獲懸臂頂端的運動,該測試模組可容納72mm和43mm懸臂。
懸臂梁法測薄膜橫向壓電系數e31測試裝置和Radiant Precision測試系統可以進行三種類型的測量。
1)確定懸臂梁的針尖位移作關于電壓的函數
2)可以執行的第二種類型的測試是直接d31測量,這是通過懸臂梁施加力記錄壓電電容器的電荷量實現。
3)如果使用叉指電極,則測量e33
準確性
可復制到1%,卸載和重新加載準確度達2%。
可重復性
重新加載相同樣本時沒有差異。
操作簡單
無須復雜調試,操作簡單
多功能
薄膜或散裝、生產或研究。
靈活
薄膜壓電測試束將適應
各種樣本幾何圖形。
薄膜壓電測試模組的測量包括但不限于下列測試:
e31、d31、e33與厚度
位移與電壓
壓電疲勞
壓電老化
成分比較
過程監控
多重繪制和平均