Horiba Z514、Z512高精度數字式質量流量控制器
產品概述
horiba Z514、Z512數字式質量流量控制器,又稱氣體質量流量計。
Horibastec Z514MGX屬于SEC-500X系列,高性能數字式質量流量控制器,最小量程可以選擇1sccm,精度0.25%,多用于半導體設備的PEVCVD、LPCVD、MOCVD中。
國內多回收、二次銷售,我公司提供進口Z514、Z524,保修期1年。
暢銷型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可選低成本數字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
國內組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
國內組裝數字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212