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雙側滑軌式快速退火爐1200℃
主要用途：主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長。
產品用途：
主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長，其它快速熱處理工藝。
雙側滑軌式快速退火爐1200℃
產品結構：
1、采用進口鎢燈管為發熱元件，升溫速度高達200℃/s;
2、爐膛材料采用進口陶瓷纖維，內有進口氧化鋁涂層，抗熱沖擊；
3、保護管采用高純石英管 ，可沖入多種氣體；
4、石英管兩端采用不銹鋼密封法蘭，耐高溫、耐腐蝕；
5、滑軌采用鋁合金*滑道；
6、爐體采用雙層空氣隔熱技術，配有自動冷卻風扇，降低爐體外殼溫度；
8、選配無紙記錄儀，記錄、存儲、顯示當前或歷史溫度曲線，也可通過U盤轉存入電腦。
9、選配西尼特智能溫控軟件，通過電腦進行全程操作；
10、使用溫度超過900℃請接冷卻水，以免密封圈受損；
技術參數 | ||||||
產品名稱 | 單位 | 型號 | ||||
HY-5-10 | HY-6-10 | HY-7-10 | HY-9-10 | HY-10-10 | ||
額定功率 | kw | 9 | 9 | 9 | 9 | 9 |
額定電壓 | v | 220 | 220 | 220 | 220 | 220 |
溫度 | ℃ | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 |
工作溫度 | ℃ | ≤950 | ≤950 | ≤950 | ≤950 | ≤950 |
相數 | 相 | 三 | 三 | 三 | 三 | 三 |
加熱區 | mm | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 |
石英管 | 直徑 | Φ50 | Φ60 | Φ70/80 | Φ90 | Φ100 |
長度 | L=1300 | L=1300 | L=1300 | L=1300 | L=1300 | |
保護氣體 |
| 氮氣 氬氣 | 氮氣 氬氣 | 氮氣 氬氣 | 氮氣 氬氣 | 氮氣 氬氣 |
流量計種類 |
| 浮子流量計 | 浮子流量計 | 浮子流量計 | 浮子流量計 | 浮子流量計 |
爐膛材料 |
| 進口纖維 | 進口纖維 | 進口纖維 | 進口纖維 | 進口纖維 |
加熱元件 |
| 碘鎢燈 | 碘鎢燈 | 碘鎢燈 | 碘鎢燈 | 碘鎢燈 |
移動間距 | mm | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
滑軌長度 | mm | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 |
爐體尺寸 | 長寬高 | 645*465*785 | 645*465*785 | 645*465*785 | 645*465*785 | 645*465*785 |
真空度 | 可選機械泵（6.67pa）或擴散泵（6.67*10-2） | |||||
標配件 | 高溫鉤，高溫堵頭，石英舟，高溫手套。 | |||||
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