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當前位置：上海富瞻環?？萍加邢薰?/a>>>過程儀器儀表>>工業泵系列>> CFD系列半導體氣動泵
高分辨率
最小流量達1mL/shot，為晶圓清洗過程中所需的化學凝結控制，提供更高的準確性。CFD系列能提供準確流量，防止過量添加或液體浪費。此外，防虹吸設計防止意外吸入。
耐腐蝕過流端
氟材質口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導體加工所用的強酸、強堿和雙氧水。針對化學腐蝕，PTFE / PFA / PP / PVC材質外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護。
寬廣的吐出率調節
打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調節沖程長度 (出廠默認設定是1.0ml/shot)。
配備泄漏傳感器
每臺泵都配有泄漏傳感器，可實時檢測任何泄漏情況。
規格
最大吐出量 | 1 mL/shot |
最大吐出壓力 | 0.05 MPa |
最大沖程率 | 30 spm |
主要材質 | PTFE, PFA, PCTFE |
液體輸送溫度范圍 | 20 ~ 60 °C |
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