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價格區間 | 面議 | 儀器種類 | 雙晶衍射 |
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應用領域 | 綜合 |
確定單晶的晶格取向,使用Omega掃描方法的超高速晶體定位,測量立方晶體任意未知取向的測定,特別設計用于點陣方向的方位設置和標記。氣冷式x射線管,無需水冷,
適合于研究和生產質量控制。 X射線單晶定向儀
產品介紹:
技術特點
確定單晶的晶格取向
使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測量
立方晶體任意未知取向的測定
特別設計用于點陣方向的方位設置和標記
氣冷式x射線管,無需水冷
適合于研究和生產質量控制
X射線單晶定向儀
所有想要的晶體方向參數在5秒內一次旋轉中被捕獲
可測量材料的例子
? 立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP
? 立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
? 正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4
? 六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(藍寶石),GaPO4, La3Ga5SiO14
? 斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3
? 可根據客戶的要求進一步選料
X射線單晶定向儀
DDCOM的應用
平面方向的標記和測量
在晶圓片的注入和光刻過程中,需要平面或凹槽作為定位標記。切割過程中,晶片必須正確地對準晶圓片上易于切割的晶格面。因此,檢查平面或缺口的位置至關重要。
為了確定平面或缺口的位置,就需要測量平面內的部件。由于Omega掃描法可以在一次測量中確定完整的晶體方位,基于此,便可以直接識別在平面方向或檢查方向的單位或缺口。
DDCOM通過旋轉轉盤,可以將任何平面方向轉換成用戶的特定位置。在必須定義平面方向的情況下,這可以極大簡化將標記應用到特定平面方向的過程。
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