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| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 環保,電子/電池,包裝/造紙/印刷,航空航天,電氣 |
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產品簡介
詳細介紹
KW-4T勻膠機 涂膠機用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO 導電玻璃 等工藝，制版的表面涂覆，具有轉速穩定和啟動迅速等優點，保證涂膠厚度的 一致性和均勻性。
技術參數及要求：
基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圓片，最大 100×100mm2方片
轉速：250-9000RPM
旋涂設置：任意階段之間均可任意升降調節
轉速穩定性：<±1%
旋涂均勻性：<1%
旋涂工藝階段：6 段
旋涂時間：單步工藝 0-1800s，可根據客戶需求調節
整機尺寸（長寬高）：210mm×280mm×248mm
裸機尺寸（長寬高）：210mm×280mm×155mm
電機功率：40W
適應材料：硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料
KW-4T勻膠機 涂膠機配套無油真空泵參數：
型號：KW-550A/KW-550T
抽速：1.5 升/秒
抽氣速率：>60L/min
功率：320W
噪音：50db
真空度：-700mmHg
重量：7.3Kg
尺寸(長寬高)：240mm×160mm×230mm