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橢圓偏振測厚儀

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橢圓偏振測厚儀 型號: SGC-2 
產品簡介  
可用于測量單層非金屬的所有鍍膜的厚度測量。測量范圍:1nm~4000nm 包含主機一臺,全部USB接口全自動測量。同時測量鍍膜和折射率多種數據處理方法軟件。(不包含計算機)  
詳細介紹  
o儀器測量精度:在10nm處誤差為±0.5nm;   
o光學中心高度:75㎜;   
o允許樣品尺寸直徑:Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜;   
o外形尺寸:730 x230X 290;   
o主機重量:30kg;測量范圍:1nm~4000nm;   
o測量Z小值:≤1nm;   
o鍍膜折射率范圍:1.3 ~ 2.49   
o入射角:40°~90°  誤差≤0.05°;   
o偏振器方位角范圍:0°~180°;   
儀器測量精度:在10nm處誤差為±0.5nm; 光學中心高度:75㎜;   
允許樣品尺寸直徑:Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜;   
外形尺寸:730 x230X 290;   
主機重量:30kg;  
偏振器步進角:0.0375°/步;  


本儀器分為光源、接收器、主機、電子及通訊四部分,外觀參看右圖。  
1、 光源:采用波長為632.8nm的氦氖激光光源①其特點是:光強大、光譜純、波長穩定性好。  
2、 接收器:采用光電倍增管⑤,把光訊號變為電訊號,經放大后輸出至微機,由微機選擇出消光位置的角度值。  
3、 主機部分:除以上兩項外,還有起偏組件②,樣品臺③,檢偏組件④。  
4、電子及通訊部分⑥:采集光強及對應的角度值并傳輸到計算機,再接收由計算機發出的指令逐步靠近消光點。

 

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