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一、SS-30臺(tái)式掃描電鏡性能特點(diǎn)：

1、放大倍率20-30000X（Magnification Max 20-30,000 X）；

2、標(biāo)配二次電子探測(cè)器，可選背散射電子探測(cè)器（Standard secondary electron detector, optional backscatter electron detector）；

3、1kV~15kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 15kV，High image resolution）；

4、通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；

5、XYZ軸三向手動(dòng)操作移動(dòng)平臺(tái)（XYZ axis three-way manual operation platform）；

6、最大樣品尺寸高度20mm，直徑40mm。

二、SS-30臺(tái)式掃描電鏡產(chǎn)品特性：

（1）臺(tái)式掃描電子顯微鏡，體型小巧，占用空間小；

（2）強(qiáng)大的軟件功能，單窗口操作界面，讓用戶操作方便簡(jiǎn)單；

（3）軟件實(shí)現(xiàn)檢測(cè)圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ)；

（4）掃描電子顯微鏡產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，易于維護(hù)及保養(yǎng)；

（5）自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式,迅速定位待測(cè)樣品。

三、主要參數(shù)：

1、分辨率：15nm (30kV, SE Image)

2、放大倍率：20~60,000 X

3、加速電壓：1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

圖像檢測(cè)

1、二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

2、 Detector SE 二次電子探測(cè)器

觀察模式

3.1.Standard Mode 標(biāo)準(zhǔn)模式

3.2.Charge-up reduction mode 遞減模式

電子槍系統(tǒng)

1、燈絲類型：預(yù)對(duì)中鎢燈絲

2、偏壓系統(tǒng)：自動(dòng)偏壓方式

3、電子槍校正：手動(dòng)方式

透鏡構(gòu)成

1、聚光鏡：2段式磁線圈透鏡

2、物鏡：1段式磁線圈物鏡

3、探測(cè)器類型：SE Detector/ BSE Detector

4、載物臺(tái)系統(tǒng)：手動(dòng)

5、載物臺(tái)移動(dòng)：3軸手動(dòng)

6、圖像偏移：Image shift X, Y Image Shift (±150um)