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儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用華愛(ài)公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項(xiàng)目。

氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用華愛(ài)公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項(xiàng)目。

氪分析用氦離子色譜儀參考：GB/T 5829-2006 氪氣

項(xiàng)目		指標(biāo)
		高純氪	純氪
		高純氪	一等品	合格品
氪氣（Kr）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2	≥	99.999	99.995	99.99
氮（N2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10^-6	≤	2	8	20
氧（O2）+氬（Ar）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤	1.5	5	5
氫（H2）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤	0.5	1	2
一氧化碳（CO）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤	0.3	0.4	1
二氧化碳（CO2）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤	0.4	0.8	1
甲烷（CH4）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤	0.3	0.8	1
水分（H2O）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤	2	3	5
氙氣（Xe）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤	2	20	50
氟化物（CF4）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤	1	10	15