以前我們要根據不同的觀察信號來調整樣品與透鏡之間的距離（工作距離／以下簡稱WD），以獲得最佳的觀察與分析條件，而SU7000通過新研發的樣品倉以及檢測器系統，可在同樣的WD的條件下更高效地接收各種信號，縮短了樣品觀察和分析的時間，提高了測試效率。　

而且，日立SU7000熱場發射掃描電鏡還配置了可同時6通道顯示界面（前代機型只能同時顯示4通道），進一步升級電鏡控制系統，大幅提高了信號獲取速度，由此實現了樣品的高效率觀察。它還標配超大樣品倉，增設了附件接口，可適用于各種樣品的觀察與分析。

日立SU7000熱場發射掃描電鏡主要特點：

在相同的WD條件下，可同時實現二次電子，背散射電子觀察與X射線能譜分析。

可同時實現6通道檢測與顯示；

成像分辨率最大可達10240x7680像素；

配置18個附件接口，支持低至300Pa的低真空模式觀察；（選配）