真空離子清洗機由真空發生系統、電氣控制系統、等離子發生器、真空腔休、機械等幾個部分夠成，可以根據客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統，真空室。容易采用數控技術，自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得到保證；由于是在真空中進行，不污染環境，保證清洗表面不被二次污染。
真空離子清洗機是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的物質，等離子清洗/刻蝕產生等離子體的裝置是在密封容器中設置。廣泛應用于表面去油及清洗等離子刻蝕，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蝕、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等離子涂鍍聚合等工序，因此又應用于汽車電子領域、軍工電子領域、PCB制成行業等高精密度領域。
真空離子清洗機真空等離子清洗機兩個電極形成電磁場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或郭的自由運動距離也越來越長，受磁場作用，發生碰撞而形成等離子體，同時會發生輝光，等離子體在電磁場內空間運動，并轟擊被處理物體表面，達到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有機物，以及其它化學物質，從而達到表面處理、清洗和刻蝕效果，經過等離子處理工藝可以實現有選擇的表面改性。
真空等離子清洗機工作過程：
真空等離子清洗機包括一個反應腔室、電源和真空泵組。樣品放置反應腔室內，真空泵開始抽氣至一定的真空度，電源啟動便產生等離子體，然后氣體通入到反應腔室，使腔室中的等離子體變成反應等離子體，這些等離子體與樣品表面發生反應，生產可揮發的副產物，并由真空泵抽出。
真空型等離子清洗機就沒那么復雜，按電源頻率劃分，40KHz和13.56MHz為例：通常情況下材料放入腔體內工作，頻率為40KHz一般溫度為65°以下，再者機器內部裝有強冷風扇，處理時間不長的話，材料表面溫度都會跟室溫一致。頻率為13.56MHz的就會更低，通常情況是30°以下。所以處理一些受熱易發生形變的材料，低溫真空型等離子清洗機的是在再適合不過的了。真空等離子清洗機在工作中，腔體內部的離子是不定向的，只要材料在腔體裸露出的部分，不管是哪個面哪個角落都可以洗得到。
