真空泵的作用是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
維護內容：
1.真空泵長期停用，需將泵拆開，擦干水分，將轉動部位及結合處涂以油脂裝好，妥善保存。
2.向軸承體內加入軸承潤滑機油，觀察油位應在油標的中心線處，潤滑油應及時更換或補充。
3.真空泵要停止使用時，先關閉閘閥、壓力表，然后停止電機。
4.檢查油罐車真空泵管路及結合處有無松動現象。用手轉動真空泵，試看真空泵是否靈活。
5.擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水（或引漿)。
