Ulvac愛發科真空泵滑閥泵維修保養

滑閥式真空泵常見故障消除與維修

滑閥泵的常見故障與消除方法

滑閥泵的操作與維護可參照旋片泵，其故障和消除方法見表7。由于滑閥泵的結構與旋片泵不同，大修時拆裝程序有些差異，可按下述步驟進行。

表7 滑閥泵常見故障及消除方法滑閥泵的維修

Ulvac愛發科真空泵滑閥泵維修保養

1：放出冷卻水和泵油，拆下皮帶防護罩，卸下三角帶和皮帶輪；

2：拆油箱組件，拆分離器組件，拆濾油器組件，拆排氣管，拆排氣閥組件，拆進氣管；

3：拆油管、油泵和油泵軸；

4：拆密封裝置和軸承蓋，拆左右兩端蓋及軸承，拆滑閥組件及導軌組件；

5：拆偏心輪、平鍵及軸。

b.滑閥泵的裝泵程序裝泵程序與拆泵程序相反。

c.拆裝泵的注意事項

1：不能直接用鐵錘敲打加工面，拆裝時防止碰傷；

2：零件裝配前清洗干凈并烘干；

3：泵裝好后密封處不得漏氣、漏油。

4：泵修目完應進行全性能的試驗，如其他條件不具備，至少應試驗極限真空度。