高倍測量顯微鏡主要用于LCD、PDP、PCB等相關(guān)的光電產(chǎn)業(yè)，為其研發(fā)、制造提供所需的檢測設(shè)備。具有觀察OLB壓接粒子分布、液晶板表面貼附的異物、液晶板劃傷情況、測量導(dǎo)電粒子大小、數(shù)量等功能。
主要用于LCD、PDP、PCB等相關(guān)的光電產(chǎn)業(yè)，為其研發(fā)、制造提供所需的檢測設(shè)備。具有觀察OLB壓接粒子分布、液晶板表面貼附的異物、液晶板劃傷情況、測量導(dǎo)電粒子大小、數(shù)量等功能。
.產(chǎn)品特點：
高倍測量顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
1. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm
2. X、Y軸采用空氣軸承、花崗石導(dǎo)向，保證了機械系統(tǒng)的穩(wěn)定，提高了測量精度
3. X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高、速度快，運行平穩(wěn)
4. 同軸光/底光測量
5. 內(nèi)置偏光測量光學(xué)模塊
6. 測量軟件，高清晰1/2"彩色攝像機
7. 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，可適應(yīng)復(fù)雜工件的測量
8. 可實現(xiàn)Z軸自動對焦
9. 具有偏光和DIC檢測功能
10. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
規(guī)格參數(shù)：
型號 | JTM-6065C | JTM-6090C | ||
工作臺 | 玻璃臺尺寸(mm) | 690*770 | 640*1070 | |
X、Y運動行程(mm) | 600*650 | 600*900 | ||
Z向行程(mm) | 200 | 200 | ||
外形尺寸(mm) | 1500*1350*1510 | 1800*1350*1510 | ||
儀器重量(kg) | 1300 | 1550 | ||
X、Y、Z向分辨力(um) | 0.1 | |||
X、Y示值誤差(um) | E1XY=(2.5+L/200) | |||
物鏡放大倍率誤差 | 包括畸變在內(nèi)的放大率誤差：≦0.08% | |||
落射照明光源 | 可調(diào)高亮度LED燈源 | |||
底光照明光源 | 可調(diào)條型光源 | |||
電源 | AC 100V-240V 50/60Hz | |||
氣源壓力 | ≧0.5MPa | |||
空氣流量 | 120L/min(0.4 MPa) | |||
溫度范圍 | 20±2℃＜1℃/h ＜2℃/24h ＜1℃/m | |||
濕度 | 55%~65% | |||
目視系統(tǒng) | 影像系統(tǒng) | |||
物鏡放大倍數(shù) | 5X、10X、20X、50X | |||
目鏡放大倍數(shù) | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機 | ||
總放大倍數(shù) |
50X~500X | 140X~1400 (17”顯示囂，分辨率1024*768) | ||
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