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| 產地類別 | 進口 |
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NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區小1mm，可進行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據SEMI標準。
產品簡介
詳細介紹
原裝日本黑田精工KURODA表面形狀測量系統
表面輪廓測量是一款高精度的大型綜合測量儀器，包括粗糙度測量系統、直接輪廓測量系統和形狀測量系統。它可以測量和評估粗糙度和直接輪廓參數，還可以測量角度、圓弧半徑、相互位置等形狀參數。
特點
根據表面和背面同步檢測得到的放射狀測量結果，提供符合客戶需求的分析軟件。
原裝日本黑田精工KURODA表面形狀測量系統
性能、規格
| 項目 | NANOMETRO®300TT | NANOMETRO®200TT |
|---|---|---|
| 量程 | φ300mm | φ200mm |
| 顯示分辨率 | 1nm | |
| 測頭 | 非接觸激光位移計 | |
| 測量方式 | 縱向旋轉方式 | |
具體內容詳見：日本黑田精工KURODA表面形狀測量系統