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● 本體底座部分嚴選材料，采用密封結構以實現高剛性、高衰減性。采用FEM結構解析模擬進行*底的應力分析，保證了幾何運動精度

，使負荷及其它變量波動造成的誤差降至最小。此外，還引入了各種技術來實現超高精度，如驅動單元的結構和振動對策等。

● 用于位置檢測的長度測量單元配備了*高精度測量單元（自社開發），該單元采用熱膨脹系數為≒0的*高精度微晶玻璃尺和

高分辨力、高性能反射線性編碼器的組合，具有*高的位置檢測能力，可實現*高精度的機器控制功能。此外，提供豐富的選件，

包括觸發式和非觸發式測頭，數據處理部等支持各種工件輕松實現高精度測量。