詳細介紹
SU-8模具的軟光刻UV系統
產品SKU: BHL-SOFT-LITHO-UV
分類: 微細加工
這個實驗室實驗室的紫外線LED室是制造具有專業品質的SU-8模具的解決方案。將光敏化學品暴露于紫外線下以形成模具的圖案,然后將其用于微流控芯片的制作。易于使用,過程*指導且高度準確。您甚至不需要潔凈室即可使用它!
為什么要制造自己的SU-8模具?
多虧了這個紫外線室,您可以控制自己的知識產權,避免浪費時間與中介機構進行討論,并且可以更快地設置任何新的實驗。該設備甚至不需要潔凈室即可達到專業精度:充分利用專業制造的優勢,而*!
特點與優勢
準確
單色紫外線曝光(帶寬低于10 nm)。
高度準直:光發散角<2°。
分辨率為2µm:適用于微流體的大多數應用。
方便
LED燈:無加熱,壽命超過10000小時,無預熱時間。在365 nm或385 nm的波長之間選擇。
緊湊安全:您無需任何潔凈室即可使用它。
即插即用,用戶友好的觸摸屏界面,用于編程。
該系統與硬掩膜觸點或軟掩膜觸點兼容,并且可以設置掩膜和基板之間的各種距離。
強大的支持
如果需要,我們的團隊將在微細加工過程的每個步驟中為您提供指導。我們可以隨時幫助您解決問題。
我們很樂意告訴您有關此產品的更多信息!歡迎與我們聯系。
- 沒有預熱時間
- 閃光模式曝光:無機械應力,延長了機器使用壽命
- 自動化晶圓裝卸系統
- 兼容玻璃和塑料口罩
- 觸摸屏界面
該設備具有1年保修,并通過電子郵件,電話或Skype提供技術支持。